Дане обладнання забезпечує можливість проведення in situ електронно-мікроскопічних і електронографічних досліджень. Препарування плівок, отримання технологічних вуглецевих шарів і підготовка діелектричних зразків для SEM досліджень здійснюється за допомогою безмасляних засобів відкачування.

Роздільна здатність приладу при роботі в режимі високого дозволу становить по точках-0,5 нм. Діапазон електронно-оптичного збільшення в режимі високого дозволу від 100х до 600000х. Проведена модернізація дозволяє використовувати прилад для in situ електронографічних досліджень в діапазоні температур від кімнатної до 500°C. Автоматична система нагрівання зразка забезпечує стабільність його температури на рівні ± 2 K.

Мікроскоп обладнаний оригінальною системою цифрової реєстрації електронно-мікроскопічних і електронографічних зображень, що виключає необхідність використання аналогових фотоматеріалів.

Відповідальна особа: Дукаров Сергій Валентинович, Богатиренко Сергій Іванович