Камери, оснащені безмасляними системами відкачування
Для препарування зразків і напилення технологічних шарів використовуються різні вакуумні камери, оснащені безмасляними системами відкачування. Для напилення тугоплавких матеріалів (W, C, Mo та ін) використовується електронно-променеве напилення. Контроль товщини напилених шарів здійснюється in situ за допомогою кварцового резонатора. Стабільність характеристик осаджених плівок забезпечується цифровою системою управління.
Відповідальна особа: Дукаров Сергій Валентинович, Богатиренко Сергій Іванович
